全效高精度取放系統(tǒng)
| 尺寸 | 寬 x 深 x 高 |
| 1,460 x 2,300 x 2,100 mm |
特色
晶圓級(jí)扇出工藝及嵌入式封裝的先驅(qū)
支持覆晶及直接固晶模式，并可執(zhí)行局部對(duì)準(zhǔn)及整體對(duì)準(zhǔn)
特大基板處理能力
支持特大固晶壓力及熱壓固晶工藝
配置全自動(dòng)工具轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)多晶固晶工藝
固晶制程符合潔凈度 100 級(jí)的要求
其他配置
NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片處理能力
NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板處理能力
135-1032-1270
聯(lián)系人：張先生
郵 箱：3120537959@qq.com
地 址：深圳市寶安區(qū)福海街道塘尾社區(qū)荔園路142號(hào)翰宇灣區(qū)創(chuàng)新港4號(hào)樓二層
